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光谱干扰小：氩气的发射光谱相对简单，对发射光谱产生的干扰极少。在原子化的特性上，电离或者激活元素周期表上的大多数元素时，氩气能提供较为纯净的光谱背景，有利于分析和检测。
成本低廉：氩气与其他元素之间缺乏稳定的化合物形式，这降低了使用氩气作为等离子气体的成本。此外，氩气占空气中的1%，是较容易获取的气体，因此在工艺和细节上也较为容易实现。
导热率低：相比分子气体如氮气或氧气，氩气的导热率相对较低。这一特性使得氩气在等离子体中能够更好地控制温度，避免过度加热和损伤材料表面。
物理轰击效果：氩气作为惰性气体，在等离子处理时仅对材料表面产生物理反应，能够达到清洁和粗化的效果。氩气的原子尺寸大，可以用很大的力量轰击样品表面，去除表面上的污垢。
化学稳定性：氩气是一种惰性气体，在常温下与其他物质均不起化学反应。这一特性使得氩气在等离子处理过程中不会对材料表面产生氧化或其他化学反应，适用于精密金属元件的处理。
综上所述，氩气因其光谱干扰小、成本低廉、导热率低、物理轰击效果好以及化学稳定性高等优点，被广泛应用于等离子气体中。
