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高纯气体管道氦气检漏方法主要包括以下几种：
一、内向检漏法（氦气注入法/喷氦法）
操作方法：在高纯气体管道内部抽真空，然后从外部向管道喷射氦气。
检测原理：通过检测管道内部是否吸入氦气来判断是否存在泄漏。
泄漏率要求：测定的泄漏率不得大于1×10^-9 mbar·l/s。
二、阀座检漏法
操作方法：在阀门上游充入氦气，同时在下游抽真空。
检测原理：通过检测下游是否检测到氦气来判断阀座是否存在泄漏。
泄漏率要求：测定的泄漏率不得大于1×10^-6 mbar·l/s。
三、外向检漏法（吸枪法）
操作方法：在高纯气体管道内部填充氦气或氦氮混合物，然后使用外部吸枪检查可能的泄漏点。
检测原理：通过检测外部吸枪是否吸到氦气来判断是否存在泄漏。
泄漏率要求：测定的泄漏率不得大于1×10^-6 mbar·l/s。
