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特种气体是指在特定领域中应用，对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体的门类繁多，以下是一些主要的特种气体分类及其代表气体：
硅系气体：如四氯化硅（SiCl4）等，在电子产业中有广泛应用，特别是在化学气相沉积（CVD）过程中。
砷系、磷系、硼系气体：这些气体在半导体制造中作为掺杂气体使用，用于调整材料的导电类型和电阻率。
金属氢化物、卤化物和金属烃化物：这些气体在特定工业过程中作为反应物或催化剂使用。
电子气体
用途：广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程，主要包括清洗、蚀刻、光刻、外延、掺杂等。
代表气体：高纯氨气、高纯氢气、高纯氩气、高纯氮气、六氟化硫、三氟化氮、四氟化碳等。
医疗气体
用途：在医疗领域中被广泛应用，如急救、手术、氧疗等。
代表气体：氧气、氮氧气混合物等。
标准气体：用于校准仪器和分析测量。
环保气体：用于环境保护和污染治理。
激光气体：用于激光切割和激光焊接等工艺。
食品气体：用于食品保鲜和包装。
电光源气体：用于照明设备中，如氖气用于霓虹灯。
掺杂气体：在半导体器件和集成电路制造中，将某种或某些杂质掺入半导体材料内，以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率。主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷等。
熏蒸气体：具有杀菌作用的气体，常用的气体品种有环氧乙烷、磷烷、溴甲烷等。
焊接保护气体：用于气体保护焊，提高焊缝质量，减少焊缝加热作用带宽度，避免材质氧化。单元气体有氩气、二氧化碳，二元混合气有氩和氧、氩和二氧化碳等。
此外，还有离子注入气、非液化气体、液化气体、稀有气体、低压液化气体、高压液化气体等分类。这些分类存在交叉，例如某些气体可能同时属于多个分类。
